3M™ Novec™ HFE Cleaning

Novec 유체 순수 세척 공정은 단일 성분 세척 유체와 비교적 낮은 용매 전력이 필요한 응용 분야에서 추가 용매 없이 3M™ Novec™ Engineered Fluid Novec 7100 또는 Novec 7200을 사용할 수 있습니다. 필요한 장비는 기존 CFC-113 또는 HCFC-141b 세척 장비와 유사합니다. HFE-7100 또는 HFE-7200 유체는 증기세정 및 초음파시스템을 모두 적용함으로써 먼지와 경질유 등의 가벼운 오염을 제거하는데 적합니다. 
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또한 Novec HFE는 불소화 오일 및 여러 반도체 기계 오염 세정에 탁월한 성능을 발휘 합니다. 
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​Water
Novec 7100Novec 7200Novec 7300Novec 7500
​Surface tension (dynes/cm)
7313.613.61516.2
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​3M™ Novec™ HFE 소개

HFE란 : Hydro Fluoro Ether 의약어Novec_7200_구조.png
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3M Novec HFE의 종류
  1. Novec 7000, Novec 7100, Novec 7200, Novec 7300, Novec 7500
3M Novec HFE의 장점
  1. 친환경성 (Zero ODP, Low GWP, 짧은 대기 수명 
  2. 안정성 (불연성, 저독성)
  3. 성능 (적절한 용해성, 물질 적합성, 열적 화학적 안정성, 낮은 표면장력, 높은 비중
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3M™ Novec™ HFE Solvent cleaning 용도와 시장
  1. 전자 조립 및 구성 요소
  2. 다공성 멤브레인 세척 및 증착
  3. 자동차 부품
  4. 필름 세정
  5. 하드디스크(HDD) 세정
  6. MHH – CMOS 및 OLED
  7. 항공산업
  8. 의료용 세척
  9. 정밀 가공 부품
  10. 기타
  11. HDD(하드디스크)
HFE_세정.png
반도체 건식 에칭 부품의 습식 세척

최근 몇 년 동안 3M Novec HFE 유체는 반도체 건식 에칭 부품의 습식 세척에 매우 효과적인 것으로 입증되었습니다. 세척 속도와 유리한 안전 및 환경 프로필로 인해 유전체 필름의 건식 에칭 중에 형성된 불소 중합체 침전물을 세척하기 위해 IPA 및 아세톤과 같은 기존 용매를 대체하는 데 자주 사용됩니다. 이러한 고급 불연성 재료는 챔버의 와이프 세척 및 부품 세척 욕조에 유용합니다.
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Novec HFE 유체의 낮은 표면 장력은 기존 용매보다 더 큰 침투를 허용하여 금속 또는 비금속 부품에서 뛰어난 세척 성능을 제공합니다. Novec 유체의 높은 세척 효율은 추가적인 기계적 힘, 열 또는 교반을 필요로 하지 않을 수 있지만 스크러빙 및 초음파를 사용하여 매우 완고한 침전물을 제거하거나 세척 시간을 단축하는 데 도움이 될 수 있습니다.
  1. 3M™ Novec™ Engineered Fluids는 하드 디스크 드라이브 산업의 까다로운 세척 요구 사항을 충족하는 데 탁월합니다. 이러한 유체는 MR 헤드, HGA, 서스펜션 및 미디어를 포함한 드라이브의 여러 부분에서 가벼운 오일과 입자를 세척하는 데 사용됩니다.
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  2. Novec HFE 유체는 전자 제조 시설 전반에 걸쳐 발견되는 중요한 구성 요소를 손으로 닦는 동안 미세한 입자를 제거하는 데 매우 좋습니다. 용매는 빠르고 완벽하게 증발하여 잔류물을 남기지 않습니다. 비반응성, 매우 안정적이며 불연성이기 때문에 캐리어 용매와 세척제로 모두 사용할 수 있습니다. 
3M™ Novec™ Solvent 물성 비교
제품명
비중 (g/ml)
끓는점 (°C)
표면장력
(dynes/cm @25°C)
점도 
(cPS @25°C)
Vapor Pressure
(mmHg @25°C)
Novec 71001.516113.60.57200
Novec 72001.427613.60.62109
Novec 73001.669815.01.1845
Novec 75001.6113016.20.7715
Novec 71IPA1.385414.50.75207
  1. HFE-71IPA는IPA를 포함하고 있으나 제품자체로 인화점이 없음.
3M_Solvents.png
불소용제 3M™ Solvents 제품 소개
  1. 3M™ FC-72
  2. 3M™ FC-3283
  3. 3M™ FC-40
  4. Novec™ 7000
  5. Novec™ 7100
  6. Novec™ 7200
  7. Novec™ 7300
  8. Novec™ 7500
  9. 3M™ Novec 71IPA
  10. 3M™ Replacement
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